度假區“專精特新”專題 | 蘇州晶淼：深耕濕法設備領域，以“專精”賦能半導體制造

在半導體產業鏈的關鍵環節，濕法腐蝕與清洗設備的性能直接影響芯片良率與可靠性。位于蘇州陽澄湖半島旅游度假區的蘇州晶淼半導體設備有限公司，于2025年獲評江蘇省級專精特新中小企業，該公司正以其扎實的制造功底和對品質的執著追求，在這一細分領域穩步前行，成為國內半導體產業鏈中值得關注的專業力量。

立足專業，打造一站式解決方案

2014年成立的晶淼半導體并非簡單的設備組裝廠，而是一家具備完整研發制造能力的高新技術企業，于2025年7月獲得省級專精特新中小企業授牌。公司聚焦半導體集成電路、光電子器件、LED、光伏太陽能等多個前沿領域，提供從中高端濕法腐蝕清洗設備、CDS集中供液系統到通風柜/櫥等一站式濕法工藝解決方案。其核心優勢在于深厚的行業積累——核心技術人員擁有多年半導體濕制程設備經驗，并與多家國家級重點實驗室建立了深度研發合作關系，確保技術持續創新。

精益制造，構筑可靠品質基石

走進蘇州晶淼的廠房，嚴謹的制造氛圍撲面而來，其中獨立的500平方米千級凈化車間正是公司精密設備的誕生地。公司深知設備可靠性是客戶生產線的生命線，因此投入了CNC加工中心、德國進口塑料彎板機與焊接機、瑞士PVC焊接機、德國針孔檢測設備等先進制造與檢測裝備，更引入18兆歐超純水系統、無油CDA系統等關鍵設施，從源頭保障設備滿足嚴苛的半導體級工藝要求。此外，公司全體員工也致力于在精密設備與嚴格流程中，將“可靠”二字融入產品基因，贏得了市場的廣泛認可。

精準定位，滿足多元市場需求

全自動設備：采用機械手實現晶圓自動傳輸，干進干出，集成自動配液補液，滿足環境要求高、大尺寸晶圓清洗及大批量生產需求，顯著提升產品一致性與穩定性。

半自動設備：人工輔助完成晶圓片花籃在工藝槽之間的移動，通過彩色觸摸屏實現便捷的人機交互、參數設定與過程監控。兼具操作靈活性與較低投入成本，適應性廣。

手動設備/試驗臺/通風櫥：操作簡便，投入低，是研發機構、高等院校及企業研發部門進行工藝探索和小批量試產的理想選擇。

此外，公司還提供石英管清洗、自動配液系統、專業藥液槽體（PP、PVDF、PTFE、石英、不銹鋼等）以及水洗槽體等配套設備，覆蓋濕法工藝全鏈條。

企業的發展壯大，既離不開自身對技術創新的執著追求，也受益于園區、度假區優越的營商環境。“自從公司落戶度假區以來，園區、度假區各個部門在產業規劃、人才引進、技術孵化等方面為我們提供了系統性的支持，讓我們能夠將更多精力放在創新研發、業務拓展上。”公司相關負責人表示，園區完善的產業配套和先進制造業扶持政策，為公司提供了堅實的硬件保障和發展動能。

從精密制造、研發合作到客戶信賴，蘇州晶淼半導體設備有限公司不追逐喧囂，而是沉潛于濕法設備這一專業領域，以“專精”打磨產品，以“可靠”贏得市場。在半導體設備國產化的浪潮中，蘇州晶淼正以其扎實的步伐，為提升產業鏈關鍵環節的自主保障能力貢獻著一份堅實的力量。在蘇州晶淼的廠房內，“用心設計、專心制造、貼心服務”的標語顯得格外醒目——這或許正是這家度假區企業穩步前行的核心密碼。

編輯 度假區宣

2025年12月17日